摘要睿克光学依托成熟微纳测量测试资源与高校、科研院所深度合作承接半导体微纳加工项目配备全套高端微纳加工设备覆盖多类工艺适配小片至12英寸晶圆兼容多种基材提供专业微纳图形整体解决方案。一、设备情况配备全套高端微纳加工设备覆盖光刻EVG、Canon等型号、刻蚀、镀膜等全流程适配小片至12英寸晶圆兼容多种基材为混合晶圆键合加工提供坚实设备支撑。二、混合晶圆键合加工能力具备专业混合晶圆键合加工能力可开展临时键合与解键合、共晶键合、阳极键合等核心工艺适配4-12英寸晶圆及小片兼容多种基材。依托精密设备与成熟工艺实现高精度键合保障键合强度与稳定性配套晶圆清洗、减薄抛光等一站式后处理服务。产品适配半导体先进封装、MEMS器件等核心场景可定制不同规格、精度的加工方案兼顾科研与中试量产需求。三、案例展示案例1键合结果展示案例2键合结果展示案例3键合结果展示案例4键合结果展示案例5键合结果展示睿克光学 专业微纳图形代工服务